洁净厂房特殊气体供应系统竣工图纸

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此稿件为湖南某洁净厂房净化系统中特殊气体供应系统竣工图纸；该厂房为硅基薄膜太阳能电池生产线。
设计内容：大宗气体PH2供应系统；特殊气体B2H6(2%)H2,CH4,NF3,PH3(0.5%)H2,TMB(2%)H2,CO2,SiH4等的供应系统；以及化学系统DEZ供应系统。

氢气管道系统：氢气输送管道采用主管分配VMB设计原则，管道选择依最大流量设计流速小于10M/S；从氢气站预留口接一条1" 主管线接入102 厂房,先进纯化器，然后接至VMB； 工艺设备对氢气的总需求量为28M3/H.纯化器之前管道材质采用SS 316L BA不锈钢无缝钢管，阀门为不锈钢球阀，管道附件采用与管材相同材质的产品；纯化器之后管道材质采用SS 316L EP不锈钢无缝钢管，波纹管阀/隔膜阀，管道附件采用与管材相同材质的产品。
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，图纸共15张。